| 类型 | 测量仪 |
|---|---|
| 名称 | 精密多轴尺寸测量仪 |
| 品牌 | OBI**菱 |
| 型号 | SE-119 |
| 加工定制 | 否 |
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该机器可以直接数字显示X，Y，Z轴和旋转轴的坐标，并且可以通过手动开关轻松地独立设置每个轴的参考位置（归零），因此轴的形状复杂 各种尺寸都可以准确测量。
尤其对测量在轴上加工的凹槽的长度，宽度和相位有效。
由于每个轴都通过操作面板的手柄和伺服电机移动，因此可以进行粗进和细进。
| X、Y、Z軸 | 光学式リニアスケール |
|---|---|
| 分解能 | 0.2μm |
| 回転軸 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| 分解能 | １分 |
| タッチプローブ | 0.1mmストローク |
| 分解能 | 0.1μm |
| センター高さ | 150mm |
| センター間距離 | 270mm |
| ステージ移動量 | X軸270mm Y軸150mm Z軸150mm |